ウエハIDマーキング装置
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ウエハIDマーキング装置
ウエハIDマーキング装置
特徴
・6,8,12インチのウエハに対応可能な全自動ウエハマーカー
・通常のマーキングに加えて、パーティクルレスなソフトマーキングが可能
・裏面印字、IDリーダー、オンライン通信機能(SECS/GEM)など豊富なオプション
用途
・前工程におけるSi、SiC、GaAs、InPなどの半導体ウエハのマーキング
| 発振器 | ナノ秒532nm/UV | |
|---|---|---|
| ウエハサイズ | 6, 8 inch | 8, 12 inch |
| ロードポート | 2 | 2(Foup / SMIF) |
| マーキング精度 | ±75 um | ±100 μm |
| マーキング深さ | ±2um | ソフトマーキング±1μm |
| 装置サイズ | 1600*1500*2400mm | 2050*1660*2150 mm |
オリフラへのマーキング(Arial)
SEMIフォント
ソフトマーキング
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株式会社デルファイレーザージャパン
